Il-prinċipju tax-xogħol tal-mikromachining jinkludi prinċipalment l-aspetti li ġejjin:
Mikromachining tal-wiċċ: Il-mekkaniżmu tal-mikromachining tal-wiċċ jinkludi d-depożitu ta 'saff ta' iżolament fuq il-wejfer tas-silikon għall-insulazzjoni elettrika jew il-protezzjoni tas-substrat, imbagħad jiddepożita saff ta 'sagrifiċċju u proċessar tal-mudelli, imbagħad jiddepożita saff strutturali u jipproċessa l-mudell, u fl-aħħar jinħall is-saff ta' sagrifiċċju biex jifforma mikrostruttura ta 'raġġ cantilever {{0} dan il-metodu ta' pproċessar ta 'l-ipproċessar ta' partijiet strutturali ta 'l-ipproċessar. Settijiet tal-irkaptu, turbini, krankijiet u partijiet oħra kumplessi tal-mikrostruttura tal-wiċċ .
Proċessar tal-mikro-nano bil-lejżer: It-teknoloġija tal-ipproċessar tal-mikro-nano tal-lejżer tuża travi tal-lejżer bħala għodod tal-ipproċessar biex tipproċessa b'mod preċiż materjali fuq l-iskala tal-mikron jew saħansitra nanometru permezz ta 'raġġi tal-lejżer b'densità għolja {. l-interazzjoni bejn il-laser u l-materja tinkludi riflessjoni, assorbiment, assorbiment u trasmissjoni . Żieda fit-temperatura tal-materjal, li min-naħa tiegħu tikkawża t-tidwib, il-vaporizzazzjoni, il-bidla fil-fażi jew ir-reazzjoni kimika . proċessar ta 'preċiżjoni għolja jista' jinkiseb billi jiġu kkontrollati b'mod preċiż parametri bħad-densità tal-enerġija, id-daqs tal-post u l-ħin tal-irradjazzjoni tar-raġġ tal-lejżer .
Teknoloġija tal-polimerizzazzjoni two-photon: Il-Workbench Micromachining jadotta t-teknoloġija tal-polimerizzazzjoni b'żewġ fotoni, u r-riżoluzzjoni tagħha tista 'tilħaq 1 mikron . Din it-teknoloġija tuża żewġ fotoni biex taġixxi fuq il-materjal fl-istess ħin, li tikkawżaha polimerizza f'polimerizzazzjoni f'postijiet speċifiċi, u b'hekk tinkiseb mikromachining.}}}}}}}}}}}}}
Teknoloġija ta 'espożizzjoni ultraviolet: It-teknoloġija ta' espożizzjoni ultravjola hija t-teknoloġija ewlenija għall-manifattura ta 'ċirkwiti integrati fuq skala kbira u apparati tas-semikondutturi . permezz ta' esponiment speċifiku ta 'faxxa ultraviolet, żvilupp u inċiżjoni, il-mudell fuq il-maskra huwa mnaqqax fuq is-substrat tas-silicon {. din it-teknoloġija għandha l-preżentazzjoni ta' l-akkwist tal-kbar, ripetibbiltà .
Femtosecond Laser Micromachining: Micromachining tal-Laser Femtosecond juża l-intensità għolja tal-quċċata u l-ħin ta 'azzjoni estremament qasir ta' lasers tal-polz ultrashort biex jikkontrollaw jew jimmanipulaw b'mod preċiż l-istat tal-materjali {. minħabba d-densità ta 'enerġija estremament għolja u l-ħin ta' azzjoni estremament qasira, iż-żona ta 'l-affettwata tas-sħana hija mnaqqsa ħafna, li tipproċessa l-ideali riżultat .